全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
发布时间：2025-10-13 02:04:17 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论 来源：财联社 财联社8月14日电，据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀
。
来源：财联社
财联社8月14日电，出炉据杭州日报，全国近日，首台商业上海市某某电气维修站作为基地首批签约孵化项目之一，国产光刻全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，电束其精度比肩国际主流设备，机杭标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。出炉在测试现场，全国浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，首台商业一台模样酷似大型钢柜的国产光刻上海市某某电气维修站机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。电束“这不是机杭普通的机器，而是出炉一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，全国依托省重点实验室，首台商业这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。
相关文章
来源：财联社 财联社10月9日电，沪指高开高走突破3900点整数大关，刷新2015年8月以来新高。创业板指和科创50指数冲高回落。沪深两市成交额2.65万亿，较上一个交易日放量4718亿。盘面上2025-10-13
1996年6月26日，英格兰与德国的欧洲杯半决赛已进入最后的点球决战。前6轮点球，两队出场的球员全部罚进。第7轮，英格兰中后卫索斯盖特走上了点球点。他摆好球，冷静思考，进行了超长的助跑，然后罚出一记绵2025-10-13
2024年高考成绩公布后，再次证明：自律者出众，懒散者出局！
作者：主创团·牧青野高考查分，已落下帷幕。每年的这段时间，都牵动着无数人的心，我们和也每个高考家庭一样感同身受、热泪盈眶。十年寒窗孤清，一朝策马扬名。没有谁的收获是凭空而来，没有谁的幸运是从天而降。眼2025-10-13
原标题：菲律宾警方：已掌握8名涉嫌绑架并杀害中国公民的嫌疑人信息） 据央视新闻消息，菲律宾警方7月9日表示，警方已经掌握了涉嫌绑架并杀害中国公民案件中8名嫌疑人的2025-10-13
湖南省人大常委会党组书记、副主任乌兰涉嫌严重违纪违法，目前正接受中央纪委国家监委纪律审查和监察调查。 总台央视记者 宋琎）2025-10-13
文 | 海上客 之前，总感觉这次法国国民议会选举，马克龙要输。 对于马克龙来说—— 坏消息是，经过两轮选举，他领导的中间派联盟，失去了第一大党的位置。 相对来说的好消息是，法国极右翼政党国2025-10-13
最新评论